Mechanical Performance Analysis of High-Range Accelerometer

An improved method for calculating the sensitivity and frequency of accelerometers is proposed. This method considers the deformation of the mass block and the mass of the beam when calculating the sensitivity and frequency of the microstructure. The results show that when the thickness ratio of the beam to the mass block becomes larger, the maximum tensile stress value on the upper surface is no longer equal to the maximum compressive stress value. The deviation between the frequency calculated by this method and the frequency obtained by ignoring the deformation of the mass block and the mass of the beam and the ANSYS simulation is reduced from 90% to 15%. Finally, a static test was carried out, and the results were basically consistent with the improved model. Keywords Static test ; Accelerometer ; Micro2electro2mechanical system; Sensitivity ;Frequency Abstract Presented here is an improved method for the sensitivity and frequency analysis. In this analysis , the effects that the mass of beam and the deformation of the mass have on the performance of the accelerometer have been taken into account. Results show that the maximal extension stress in the beam is not equal to the maximal compression stress when the thickness ratio of the beam is no longer much lower than the proof mass\'s. The frequency error between ANSYS\'s value and the simplified analysis\'s value is near 90 % , while the frequency error can drop to 15 % in the method presented here. At the end ,the static test is described. The results are in good agreement with the improved model that we put forward.Key words Static test ; Accelerometer ; Micro2electro2mechanical system; Sensitivity ;Frequency