pdf

Double membrane bridge microwave MEMS switch

  • 2013-09-22
  • 124.89KB
  • Points it Requires : 2

A double-membrane bridge microwave MEMS switch is introduced, the design and optimization methods of the switch are given, the simulation model of the switch is established, and the double-membrane bridge switch sample is manufactured using silicon surface micromachining technology. Its main structure is to make CPW metal transmission line electrodes and dielectric layers on a silicon substrate, and then make a metal membrane bridge with a micro-inductor structure to improve the isolation of the switch. The simulation results using HFSS software show that the switch has good isolation performance in the microwave low frequency band (3~6GHz). The electrical performance indicators of the developed switch sample in the on-chip test are: insertion loss less than 0.3dB, isolation greater than 40dB, and driving voltage less than 24V. Keywords: microelectromechanical system; radio frequency switch; high isolation

unfold

You Might Like

Uploader
huhuhah0009
 

Recommended ContentMore

Popular Components

Just Take a LookMore

EEWorld
subscription
account

EEWorld
service
account

Automotive
development
circle

About Us Customer Service Contact Information Datasheet Sitemap LatestNews


Room 1530, 15th Floor, Building B, No.18 Zhongguancun Street, Haidian District, Beijing, Postal Code: 100190 China Telephone: 008610 8235 0740

Copyright © 2005-2024 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved 京ICP证060456号 京ICP备10001474号-1 电信业务审批[2006]字第258号函 京公网安备 11010802033920号
×