Scalable open-circuit ground shield inductor

              2005080551690197 Vol. 26 No. 8 Aug. ,2005 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS Vol. 26 No . 8 Aug. ,2005 Scalable open-path ground shield inductor on-wafer test structure de-embedding method 3 Suga Hongyan Tang Jue Tang Changwen He Jie Min Hao (State Key Laboratory of ASIC and System, Fudan University, Shanghai 200433) Abstract: A parasitic parameter model of on-wafer inductor test in standard CMOS process is established. Experimental results show that the series resistance, series inductance and parallel capacitance of the signal line are proportional to the length of the signal line at the same frequency. In view of the different lengths of the signal line between the pads and the inductor with different outer diameters, the same de-embedding structure will cause measurement errors, and different test de-embedding structures will greatly increase the chip area. For the first time, a proportional scaling method for the parasitic parameters of the signal line is proposed. A de-embedding solution for ground-shielded open-circuit test structures is proposed. The effectiveness of this method is verified by using a 01 35 four-layer interconnect CMOS process inductor tape-out. Keywords: on-chip inductor; scaling; open-circuit de-embedding; on-wafer test EEACC: 2140; 1205; 1350; 2570 Chinese Library Classification Number: TN3 Document Identification Code: A Article Number: 025324177 (2005) 0821656206 Design units need to test inductors, extract inductor models or inductors on-wafer. 1 Introduction Inductors are a key component in wireless RF communications and are widely used in amplifiers, mixers, oscillators, power amplifiers and other circuits [1,2]. The de-embedded S parameter data of on-wafer tests is used for simulation tools. The inductor value is generally in the order of nH and can only be tested on-wafer using a probe station. In order to obtain the true parameters of the inductor, the parasitic parameters such as the pads and signal lines designed for the inductor test need to be picked off from the test data, ...