Research on the Measurement and Control System of High-Power Mercury Lamp Power Supply

In order to ensure that the high-power mercury lamp exposure system can operate stably, safely and reliably, a relatively complete mercury lamp power supply measurement and control system is designed. A magnetic balance voltage and current sensor suitable for strong electromagnetic interference environment and the corresponding signal processing circuit are used; a three-wire constant current excitation temperature signal detection circuit based on platinum thermal resistance sensor Pt100 is selected; a high-linearity optocoupler HCNR200 is used to form an analog signal high-voltage isolation amplifier to output the control signal; a combination of analog PID control and digital control is used to achieve constant current and constant power control; a method of using an analog multiplier to calculate the power signal and compensate for the power loss of the load line is given. The experimental results show that the constant current control stability of the system reaches ±0.05%, and the constant power control stability reaches ±0.5%. Abstract: For ensure stability， credibility and safety of exposure system for high power mercury lamp， perfect relatively power supply system on measuring and controlling for mercury lamp was designed. Magnetism balance voltage and current sensor and it\'s signal disposal circuit in the condition of strong electromagnetism turbing were adopted， temperature signal detect circuitry powered by three lines constant current and based platinum resistance sensor Pt100 was selected， analog controlling signal outputted by high voltage insulation and amplifier constituted by high linearity light-coupling HCNR200 was adopted， at the same time， the constant current and power were achieved by associative controlling mode of analog PID and digital， finally， the system adopted simulation multiplication to calculate power signal and introduced the method on power wastage compensatory for load circuitry. Experiment result indicates that the constant current stability reaches ±0.05%，and constant power stability reaches ±0.5%.